При абразивной резке гладкие полотна, совершая возвратно-поступательные движения, захватывают абразивные зерна в суспензии, которые процарапывают в обрабатываемом материале канавку чуть шире толщины полотна. Абразивная резка так же проводится проволокой или вращающимися гладкими дисками. Абразивная резка малопроизводительна, сопровождается быстрым изнашиванием инструмента и потому используется редко (главным образом для резки пластин, стержней, трубок и других изделий из стекла). Наиболее перспективна абразивная резка алмазными дисками с наружней или внутренней (более распространены) режущей кромкой. Алмазные диски применяют, например, для сквозного разделения полупроводниковых пластин толщиной более 0,5 мм, керамических и сапфировых подложек, а также пластин с нанесенными оксидными плен¬ками и металлическими покрытиями. При использовании этого способа можно увеличить скорость резания в 2,5-3 раза (по сравнению с абразивной резкой полотнами) благодаря частоте вращения дисков до 100 с-1, достигая более высокого качества обработки (без сколов, трещин и рисок на обработанной поверхности) и уменьшая (на 60 %) количество отходов. Алмазные резцы применяют главным образом для разделения пластин на кристаллы. Такой процесс называют скрайбированием.
Абразивную резку с помощью ультразвука используют для получения глухих пазов и фасонных углублений в полупроводниковых пластинах, а также для скрайбирования пластин сложной формы. При такой абразивной резке упругие колебания с частотой свыше 15 кГц, возбуждаемые в магнитострикционном преобразователе, передаются режущему инструменту; зерна абразива получают ускорение от движущегося режущего инструмента и с силой ударяются в обрабатываемое изделие, отчего в изделии пробивается углубление, по форме точно повторяющее контур инструмента. Основные недостатки способа: сравнительно малая скорость резания и большая шероховатость обработанной поверхности.