Процесс покрытия, разновидность осаждения материала в виде индивидуальных атомов или молекул.
Наиболее общие методы осаждения из паровой фазы включают разбрызгивание и испарение. Разбрызгивание, которое является главным процессом в осаждении из паровой фазы, использует перенос материала от источника к детали посредством бомбардировки цели газовыми ионами, которые ускоряются высоким напряжением. Испарение, которое было первым используемым процессом осаждения из паровой фазы, использует перенос материала, чтобы формировать покрытие только физическим способом, по существу выпариванием. Покрытия осаждением из паровой фазы используются, чтобы улучшить износостойкость, сопротивление истиранию и твердость режущих инструментов, а также как коррозионно-стойкие покрытия.